多重循環(huán)風空調箱通過送風管道，通過ULPA過濾器和HEPA過濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級為10級和1級的潔凈室的天花板上，這些過濾器通常復蓋100%。垂直單向氣流向下通過清潔室，通過帶孔的架空地板磚進入地板下面的回風空間，通過垂直回風夾道向上進入天花板回風靜壓箱。然后，空氣再次進入循環(huán)風調箱，上述空氣循環(huán)再次重復。如果使用天花板風扇過濾器，風扇過濾器上的天花板空間可以安裝水或直接更換冷卻[DX-cooled]風扇線圈實現(xiàn)表面冷卻。